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    板式PECVD上下料机

    产品特点

    最高产能可达到6000pcs/h 

    可根据客户需求进行定制 

    设备结构简单稳定

    技术参数

    技术参数相关参数
    产速 4000 /6000 pcs/h(可订制)
    碳框尺寸 

    10*10(5*5,5*6,8*10,9*10 可选)

    硅片尺寸 

    166mm-210mm

    碎片率  ≤0.02%
    开机率≥98%
    功率15kW
    耗气量500L/min
    具体参数如有变动,本公司不另行通知!
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